1999年大福开发了防尘无人搬运车(clean AGV)和防尘悬挂单轨式搬运车(clean space carrier)。目前,大福研发生产的半导体生产线无尘搬运系统的洁净度达到了每立方米只有10个0.3微米以下的灰尘。
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防尘悬挂单轨式搬运车
Dust proof suspension monorail truck
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