...受热直接 蒸发成蒸气(升华)后凝结在外套上(腔壁)以达到结拖抽气 之作用，此种帮浦称之为钛升华帮浦(titanium sublimation pump，TSP)。此种帮浦之压力工作范围在10 - 2 torr至10 -10 torr。
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钛升华帮浦
Titanium sublimation pump
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