金属硬掩膜（MHM）集成方案也已用来减少等离子刻蚀和灰化过程中的ULK损伤。不过，MHM会引出其自身的一些挑战。
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金属硬掩膜沉积 HM PVD
金属硬掩膜
Metal hard mask
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