超薄SOI
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法国SOI技术供应商Soitec宣布其300mm超薄SOI（UTSOI）晶圆平台可支持22nm及以下节点全耗尽器件的应用。 Soitec称有能力制造超薄顶层硅（20nm）SOI晶圆，均匀性可达小于5 angstroms，且...
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