negative photoresist 负性胶 ; 负型光刻胶 ; 负性光刻胶 ; 负性光致抗蚀剂 negative modulation 负极性灯 ; 负极性调制 ; 负调制 ; 负调变 ..
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负性光致抗蚀剂,是一种含有感光剂的聚合物,在微电子器件和集成电路的图形曝光技术中采用的一种辐照敏感化合物。
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