负性光刻胶又称光致抗蚀剂,是一种由感光树脂、增感剂(见光谱增感染料)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。
负性光刻胶(Negative PhotoResist),曝光区域发生交联,难溶于显影液。 特性:良好的粘附能力、良好的阻挡作用、感光速度快;显影时发生变形和膨 胀。
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... 聚酯光刻胶;polyester resist 光加工用高分子材料;负性光刻胶;正性光刻胶;polymeric material for optical process 正型光刻胶;positive resist ...
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