表面声波（Surface acoustic wave）是一种沿弹性材料表面传播，其振幅随深入表面深度指数衰减的弹性波。表面声波传感器以不同灵敏度敏感于周围物理参量的扰动，如温度变化或外力作用下引起表面声波传播动力学的变化，成为温度、压力、扭力、激波等传感器，通常称为物理传感器；如在表面声波器件表面涂敷薄层特种物质及催化膜，以高选择性、高效率吸附周围的气体、液体或固体粒子，使器件负载质量发生变化，形成质量、化学或生物传感器，后者通常称为化学或生物传感器。
ZnO thin film is used widely and effectively in the fields of surface acoustic wave devices, planar optical waveguides, transparent electrodes, ultraviolet photo-detectors, piezoelectric devices, UV light emitting diodes and laser diodes, gas sensors and so on.
作为蓝紫光发光二极管（LED）和紫外激光器（LD）有着广阔的发展前景,在表面声波器件、平面光波导,透明电极,紫外光探测器、压电器件、紫外发光器件、气敏传感器等领域有着很好的应用。
参考来源 - MOCVD法制备ZnO：Ga透明导电薄膜及特性研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
理论分析发现，这些波纹是由横向表面声波造成的。
Theoretical analysis show that, these ripple patterns stemmed from transverse surface acoustic waves.
本文提出了一种相位干涉法。用来测量表面声波速度的相对变化。
A phase interference method, for measurement of the relative change of surface acoustic wave velocities, is presented.
对转动半无限压电陶瓷体的表面声波给出了存在性证明及其条件。
This paper is to display existence and its conditions to a surface acoustic wave propogating along surface of a half-body of piezoelectric ceramics with a rotation of constant angular velocity.
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