定义 ： 用螺旋波激励的等离子体称螺旋波等离子体。 原理： 螺旋波是一种在磁化等离子体中传播的电磁波。它沿磁场方向传播，是圆偏振的，其回旋方向与载流子在磁场中的回旋方向相同。这种波使得磁力线发生扰动，变为螺旋形的线，故称为螺旋波。螺旋波是色散的，其相速度及群速度均与频率的平方根成正比。用螺旋波激励的等离子体称螺旋波等离子体。实验表明，螺旋波等离子体的最大密度在10Pa的压强下可超过10cm，电离效率最高可达100%。 作用： 这种等离子体具有超常的电离效率，并且是通过外电极放电，因此特别适用于各种低气压等离子体工艺。研究表明，在所有可能在等离子体中传播的波中，螺旋波具有最佳的相速度，使电子通过朗道吸收而被迅速地加热到最佳电离能，从而产生最大的电离密度。 用例： 1.利用螺旋波等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜。 2.螺旋波高电离效率的特性很快得到了发展和应用，螺旋波激发等离子体源应运而生。作为一种新的低气压、高密度等离子体源，日本、美国、澳大利亚、韩国和瑞典等国都在对它进行研究。在这种装置中，最突出的优点就是当螺旋波在等离子体中传播时能使大面积的电子得到加热，电子密度高而均匀，约束磁场低。