作 者 杨勇(Yong Yang);赵来(Lai Zhao);陈旭(Xu Chen);查良镇(Liang-Zhen Cha);许生(Sheng Xu); 范垂祯 ( Chui-Zhen Fan ) 刊 名 真空科学与技术学报
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范垂祯
Fan Chuizhen
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