• backside chipping - 引用次数：3

  And finally it introduces two effective methods to control backside chipping: Stress Relief Step Cutting and Dicing Before Grinding.

  同时介绍了两种控制背面崩裂较有效的切割工艺:减少应力的开槽切割工艺和DBG工艺。

  参考来源 - 晶圆切割中背面崩裂问题的分析

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