5-3-11 终点侦测(End Point Detection) 干式蚀刻不若湿式蚀刻有很高的蚀刻选择性，而过度的蚀刻易损伤下一层材料，因 此蚀刻的时间必须精确的掌控。
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激发光终点侦测器 Optical Emission End Point Detector
雷射终点侦测器 Laser Endpoint Detector
终点侦测
Endpoint detection
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