等离子体光源是一 种利用等离子体焰产生的高温激发光源。常用作发射光谱的激发光源和原子吸收光谱的原子化器。由于其温度高达几千甚至数万度，因而能使许多难原子化、难激发的元素都能被测定，且灵敏度大大提高。在光谱分析中，常用的有高频等离子炬和等离子体喷射源两种。
要解决的技术问题 是：提供一种稳定的液体靶激光等离子体光源。
The technical problem to be solved is that a stable liquid target laser plasma light source is provided.
本文主要介绍软X射线等离子体光源、多层膜软X射线反射镜和软X射线显微镜。
The main topics discussed in this paper are soft X-ray plasma sources, multilayer soft X-ray mirrors and soft X-ray microscopes.
与金属靶等离子体光源相比，由于使用了气体靶等离子体光源，该反射率计具有低碎屑、可长期连续运行等优点。
In comparison with metal target LPP source, due to usage of gas-jet target LPP source, the reflectometer is debris-free and can continuously operate for a long time.
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