... ion engine 离子发动机 ion etching 离子蚀刻法 ion exchange adsorption 离子交换吸附 ...
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及反应式离子蚀刻法 Reactive Ion Etch
离子束刻蚀法 ion beam lithography ; ion beam printing ; ibl
反应离子刻蚀法 Reaction Ion Etch ; Reactive Ion Etching
等离子干法刻蚀 dry plasma etching
离子蚀刻法
Ion etching
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本文提出了用等离子体蚀刻法提高浮雕全息光栅衍射效率的原理和方法。
The principle and method to improve the diffraction efficiency of relief holographic gratings by plasma etch is presented in this paper.
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