离子注射气体
Ion injection gas
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
所述方法包括通过至少两个注射点且在用于反应性物质的等同路径上以均匀的方式将被活化的气体从远程等离子体源输送至所述室中的区域。
It comprises transport of activated gas from a remote plasma source to an area in the chamber in a uniform way through at least two injection points on equivalent paths for the reactive species.
youdao
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动