【离子注入设备】

离子注入设备

[电子] ion implantation device

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Ion Implanters

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电子、通信与自动控制技术

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就目前而言，已有的离子注入技术(包括离子注入设备系统)尚不能满足甚亚微米器件和电路制造的需要。

Now, the present ion implantation technology, especially ion implantation equipment and systems, can not meet the needs in the manufacturing of deep submicron devices and circuits.

youdao

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