离子枪 离子源
Ion gun ion source
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采用电子枪蒸镀离子源辅助技术，讨论了薄膜层数对偏振分束棱镜性能的影响。
By means of electron beam evaporation and ion source auxiliary technology, the paper shows the influence of the number of layers on the quality of film polarization beam splitter prism.
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