离子束溅镀系统 ion beam sputtering system
离子束溅镀法 Ion Beam Sputtering
离子束溅镀
Ion beam sputtering
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本发明涉及一种高真空离子束溅镀靶材利用率增强装置。
The invention relates to a device for improving utilization rate of a high vacuum ion beam sputtering target material.
youdao
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