... 碳化钽：tantalum carbide 碳化硅外延材料：silicon carbide epitaxial materials 碳钢回火：Tempering ...
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碳化硅外延材料
Silicon carbide epitaxial material
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本文对同质外延碳化硅单晶材料的生长机理和外延生长层的表征方法进行了研究。
This thesis focuses on growth mechanism of SiC homogeneity epitaxy and electrical characterization methods of epilayer.
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