pirani gauge
...镜筒各部位真空度的检测，向真空表和真空控制电路提供信 号，根据检测目标的真空度不同，真空规分为“皮拉尼规”（pirani gauge ） 和“潘宁规”（penning gauge ）2 种。前者用于低真空检测，后者用于高 真空检测，被安装在镜体的不同部位。
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皮拉尼真空规 Pirani Gauge
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