在射频范围内，由于电子动量转移频率和外加圆频率在量值上可比拟，所以对电导率的推导需要通过对电子能量概率函数（EEPF）进行测量和设定。通过对电子浓度、电子温度的测量或计算可以深入了解等离子体放电特性。
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电子能量概率分布函数 EEPF
电子能量概率函数
Electron energy probability function
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