电子枪蒸镀机（E-beam Evaporator）仪器使用流程 - 奈米机电系统研究 b..
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(4) 电极制作与图样 本论文电极中钛、金等金属的制作是使用电子枪蒸镀机(E-gun evaporator)，而矽化钨的沉积则是利用溅镀机 金属时，背景压力须低于 4×10 -6 陶尔(torr)，以维持蒸镀金属 环境的洁净;而溅镀矽化钨如图2-5 ...
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双电子枪蒸镀机 Dual E-Beam Evaporator
电子枪蒸镀机
Electron gun evaporation machine
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