... X-rays X射线 E-Beams电子束暴光 Imaging Processes成象工艺 Single Layer Resist单层光刻胶 ...
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电子束暴光
Electron beam exposure
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整个过程开始于反平行排列电子束暴光机(AEB - 1)。
The entire process started with antiparallel E-beams (AEB-1).
youdao
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