显像良好的侧壁应为直壁式者，显像不足时容易发生膜渣(Scum)造成蚀刻板的短路铜碎及锯齿突出之线边。显像机喷液系统之过滤不良时，也会造成此种缺点。
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生膜渣
Film-forming slag
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