physical vapor deposition
...on，PECVD）在 TCO上进行矽薄膜的连续镀膜，接著再以雷射将矽薄膜图形化，然后再以物理气相沈积法（Physical Vapor Deposition，PVD）在矽薄膜上进行金属镀薄，最后再以雷射把金属薄膜图形化，完成之后，各个电池间就可藉著金属与TCO薄膜相...
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...ECVD）在 TCO上进行矽薄膜的连续镀膜，接著再以雷射将矽薄膜图形化，然后再以物理气相沈积法（Physical Vapor Deposition，PVD）在矽薄膜上进行金属镀薄，最后再以雷射把金属薄膜图形化，完成之后，各个电池间就可藉著金属与TCO薄膜相...
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