卢国锋(Guo-Feng Lu);乔生儒(Sheng-Ru Qiao);弓满锋(Man-Feng Gong); 侯军涛 ( Jun-Tao Hou );焦更生(Geng-Sheng Jiao) ,13-17 3 电子束束流密度对冶金硅中杂质磷的影响
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焦更生
Jiao Gengsheng
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