Thermal Evaporation Coater
... He、Ar、N2O、 NH3、CF4、SiH4、 N2等，可提供低温 之SiO2及Si3N4等 薄膜沈积 49 热阻丝蒸镀系统 (Thermal Evaporation Coater) • 设备功能： – 薄膜蒸镀 (主要用于铝金属之蒸 镀) • 重要规格： – 扩散帮浦： （1500L/SN2），最低 压力1.0E-6 Torr – 基...
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简筠珊、吴家玮、傅新钧、陈庆恩、徐崇威、郑竹均: 17: 热阻丝蒸镀系统(Thermal Coater) 艾尚杰、蔡宗翰、黄昶智、陈韦志、黄俊哲、陈建华 ..
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