是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于精密测量光学平面度。 激光平面干涉仪工作时对防震要求一般。该仪器可应用于光学车间、实验室、计量室。如配购相关的必要附件，可精密测量光学平板的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性，光学镀膜面或金属块规表面的平面度，90o棱角的直角误差及角锥棱镜单角和综合误差。PG30-JE(欧卡光学)
数字式激光平面干涉仪是用于测量光学元件面形和无焦光学系统波像差的光学仪器。
Digital laser plane interferometer is used to measure the surface of optical components and the wavefront aberration of non-confocal optical system.
本文描述了用平面扫描干涉仪测量半导体激光光谱的一种新方法。
The article describes a new method of measuring semiconductor laser spectrum by plane scanning interferometer.
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