激光应用于化学领域而产生的一门新的边缘学科。
h E 2 E 1 N 2 N 1 35 激光化学(laser chemistry)是激光应用于化学 领域而产生的一门新的边缘学科，始于20世纪70年 代初，它包括激光诱导化学反应和激光光谱学两部 分。
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本文报道了CO_2激光化学气相沉积非晶硅的实验研究。
Experimental results on amorphous silicon growth by CO2 laser chemical vapor deposition are reported.
作者也研究了激光化学沉积非晶硅的机理，并给出了理论讨论以解释实验结果。
The mechanism of laser chemical vapor deposition of amorphous silicon was investigated and a theoretical model was adopted to explain the experimental results.
作者也研究了激光化学沉积非晶硅的机理，并给出了理论讨论以解释实验结果。
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