镀腔体及溅镀枪(sputtering gun)组成,本设备之溅镀系统 由国内津弘公司制作,电浆产生,溅射及薄膜沉积皆¸¸¸中,光电流大小依序为A>B>C,粒径的大小依序C>B≈A,这样的...
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溅射枪溅镀系统 sputter-gun sputtering system
溅镀枪
Sputtering gun
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