sputter etching
... sputter pump 溅射泵 sputter etching 溅射蚀刻 sputter out 爆响着熄掉(停息)...
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溅射刻蚀 ion sputter etching ; ise
反应溅射刻蚀 [电子] reactive sputter etching
等离子溅射复合刻蚀 pse
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另外，还披露了用于制造这种介质的方法，例如倾斜溅射或选择性蚀刻。
Further methods for manufacturing such a medium are described, e. g. inclined sputtering or selective etching.
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