消气剂溅射
Vaporizer sputtering
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研制了一种由非蒸散型消气剂泵与冷阴极溅射离子泵组成的复合泵。
A composite pump was developed which is composed of a non evaporable getter pump and a sputtering ion pump.
youdao
当真空室内的真空度为13Pa时，在阴阳两电极间加上一定的电压，气体发生自激放电，从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳极或真空室的壁上。这种溅射称为消气剂溅射。 消气剂溅射放电回路，是靠气体放电产生的正离子向阴极运动和一次电子向阳极运动形成的，放电过程是靠正离子撞击阴极产生二次电子，通过克鲁克斯暗区被加速，以补充一次电子的消耗来维持。因此，外部电路中测得的放电是轰击靶的正离子流和阴极发射的二次电子流之和。
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