...5奈米制程为主，之后导入微缩版63奈米制程，当时没有直接跳进50奈米或是40奈米制程，主要是考虑浸润式曝光机(Immersion Scanner)价格太高，加上机台严重缺货，因此先导入微缩版的63奈米因应。
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浸润式曝光机台 Immersion Scanner
浸润式微米曝光机台 Immersion Scanner
浸润式曝光机
Infiltrating exposure machine
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