据专家说法,先进的193奈米浸润式微影(immersion lithography)工具,采用折射率为1.44的非离子水(de-ionized water),预计能处理节点小至32奈米的晶圆。
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浸润式微影设备 Immersion Scanner
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浸润式微显影 Immersion Scanner
浸润式微影
Infiltrating faint shadow
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