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洁净隧道

网络释义

  Clean Tunnel

(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA筛检程式将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用.

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有道翻译

洁净隧道

Clean tunnel

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