为了使离子注入表面改性的效果更好，已经开发出金属蒸汽真空弧离子注入机（MEVVA）和气体-金属弧离子注入机（TITAN），使高剂量大面积离子注入变得简单易行，特别是后者能同时或分别引出气体和金属元素离子束流，...
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离子注入机 implanter ; ion implantation machine ; PRODUCTION ION IMPLANTER
注入机械杂质 injected particles
低能量离子注入机 low energy ion implanter
中能量离子注入机 medium energy ion implanter
中电流离子注入机 medium current ion implanter
专用氧离子注入机 private oxygen ion injecting equipment
小电流离子注入机 loss on iignitionLOI low current ion implanter
注入成型机 injection molding machine
随机注入信号 random injected signal
本发明还涉及使用所述注入机的方法。
The invention also relates to a method of using said implanter.
本发明涉及一种离子注入机用的晶片夹，属于半导体装备制造领域。
The invention relates to a wafer clamp for an ion implanter which belongs to the field of semiconductor equipment manufacture.
简单介绍了典型离子注入机的组成，分析了离子注入机中扫描技术的重要性。
Introduced the configuration of typical ion implanter, analyzed the importance of the implantation mechanical scanning technology.
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