• wave-front division - 引用次数：1

  参考来源 - 大面积复杂掩模图形的快速光刻仿真研究 Fast lithography simulation method of complex mask pattern with large
• wave-front division - 引用次数：1

  参考来源 - 采用波前分割法的接近式光刻掩模版局部优化 Optimization of partial photo mask based on wave

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