英特尔也关注沉浸光刻(immersion lithography)技术，但是该公司没有正式认可这项技术。他表示，“我们正在与沉浸光刻供应商共同工作，我们的态度是如果沉浸光刻技术可以商用，...
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沉浸式光刻 Immersion Lithography
沉浸式光刻技术 Immersion Lithography process
沉浸光刻
Immersive lithography
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的框架内这一技术过程是计划使用193纳米沉浸光刻。
Within the framework this technical process is planned to use 193 nm immersion lithograph.
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