... 干氧氧化（ 干氧氧化（Dry oxidation) Si(s) + O2(g) → SiO2(s) 湿氧（ 湿氧（Wet）/水汽氧化（Steam oxidation） ） 水汽氧化（ ） Si(s) + 2H2O(g) → SiO2(s) + 2H2(g) 这两种反应都在700 ºC～1200 ºC之间进行 这两种反应都在 ～ 之间进行 水...
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短语
高压水汽氧化法
high-pressure vapor oxidation method
高气压水汽氧化
high-pressure steam oxidation
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steam oxidation
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steam oxidation
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