oxygen zoning
... 氧比 oxygen ratio 氧成层 oxygen zoning 含氧水 oxygenated water ...
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氧化层构成 oxide build-up
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通过改变反应气体的比率或成膜输 出，可以使无机光刻胶层的氧浓度在厚度方向不同。
The oxygen concentration of the inorganic resist layer can be varied along the thickness direction by changing the proportion or film formation output of reactive gas.
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