Oxidation & Diffusion furnaces
...pm – 加药兩组：显影、定影 – Vacuum Pump 一只 – 时间及程序控制器壹组 46 氧化扩散系统 ( Oxidation & Diffusion furnaces ) • 设备功能： – 湿氧氧化、干氧氧化及TCA氧化之氧化 层成长(dry & wet oxidation） – 各种金属矽化物的形成(silicidation) ...
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短语
闭管氧化扩散系统
closed tube oxidation diffusion system