...流入，在完成处理过程之后，就在打开第一闸门阀222之前，打开第一吸入口174以检测反应管120内的残余气体。在各种气体元素分析装置中，可以采用残余气体分析(RGA)来检测气体，因为其不需要连续地吸入气体。但遗憾的是，采用RGA会由于其价格高而导致价格竞争力降低。
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残余气体分析
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残余气体分析仪 RGA
四极残余气体分析器 quadrupole residual gas analyzer
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利用残余气体分析仪在线监测了真空室内的残余气氛组成。
An in situ residual gas analyzer (RGA) was used to monitor the residual gas composition in the vacuum chamber.
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通过场致发射真空二极管实验分析了残余气体对阴极发射特性的影响。
We analyzed the residual gas's effect on the emission character in a field emission diode experiment.
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