...、工艺流程： 装载→HF HNO3 边缘刻蚀M02→Rinse1风刀 1M03→HF HNO3 选择性刻蚀M04→Rinse2M05→KOH、BDG 和 Antifoam（止泡剂）去蜡M06→Rinse3M07→HF 去除磷硅玻璃层 08→Rinse4M0901→压缩空气风干M0902→卸载 6.6、工艺方案： （见附表 3）7、工艺准备：...
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