...们利 (a) (b) (c) 图3：半导体铜制程中所使用的多孔隙低介电材料电镜影像 (a) 聚焦(In-focus image)影像 (b) 欠焦(under-focused)值为 -51.2nm的影像 (c) 过焦(over-focused)值为 的影像 用回复相位分布影像，从相位影像中获得更清楚的的 影像对比（相位对比）...
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欠焦和过焦 Under focus and over focus
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