目前 MEMS 中常用的静电型微驱动器主要有：梳状驱动器（Comb Drive Actuator）、刮板式驱动器（Scratch Drive Actuator, SDA）以及静电型微马达等。
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文章摘要信息 关键词 ： 微机电系统设计；疲劳；薄膜；梳状驱动器；有限元分析 [gap=1135]Keywords : micro-electro-mechanical system design;fatigue;thin film;comb driver;FEA
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短语
静电梳状驱动器
Electrostatic comb actuator
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comb-drive acuator
- 引用次数：3
参考来源 - 微夹持理论与系统的研究
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