...特别是深紫外光阻液的出货量随着台积电28纳米产能不断成长，已成为崇越营收重要来源；华立代理的JSR光阻、化学机械研磨液（CMP）等产品，成功进入台积电20纳米制程指定供应品，并加入16纳米finfet的研发。
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化学机械研磨液 CMP Slurry
及机械研磨液 Slurry System
械研磨液
Mechanical lapping fluid
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