极限曝光时间 limitingexposure
允许曝光极限 permissible exposure limit
极限曝光
Limiting exposure
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通过对电子束扩散函数与显影对比度的分析，本文认为电子束曝光的分辨极限与显影液在纳米尺度下的扩散限制有关。
By analyzing the spread function and development contrast curve, we hypothesized that the resolution limit of electron-beam lithography is primarily limited by developer-diffusion.
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