... 最小曝光量;minimum exposure energy 光子辐射量;photon exposure 辐照辐射量;radiant exposure ...
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最小曝光量
Minimum exposure
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minimum exposure energy 完成下述作用所必需的光学辐照(能够产生光化学反应的电磁辐射)的总累积能量：(1)使给定厚度的胶膜恰好完全溶解复制一个正性光学掩模版；(2)使给定厚度抗蚀剂胶膜恰好不溶解复制一个负性光学掩模版。 参见：曝光量
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