个人信息 景玉鹏，研究员。 所属部门： 微电子设备技术研究室(八室) 学科类别： 自动化 研究方向： 二氧化碳超临界流体半导体绿色无水清洗技术；RF-MEMS；MEMS气敏传感器 担科研项目情况： 2009年2月，制作完成一台内径350毫米的二氧化碳超临界流体工艺平台，该平台能进行清洗，HPCVD，高速无等离子体刻蚀和硅片三维加工和纳米管内部镀膜技术,是一台多功能创新型技术设备。 参加国家863重大专项，危化品检测与跟踪网络化系统集成及产业化应用技术。传感器电学参数测试子课题负责人。参与863国家重大专项（01、02），32nm以下设备关键技术研究及创新设备技术探索，二氧化碳超临界流体半导体清洗技术负责人。