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·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
对薄层电阻、接触、光掩模对准、线条宽度、器件参数与掺杂的相关性等内容进行了初步试验和分析。
The initial experiments on and analysis of sheet resistance, contact, photomask alignment, line width, and correlations between device parameters and dopants have been made.
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