projective range
...横向标准偏差R 第四章 离子注入 集成电路工艺原理 27 •射程 (range) 离子在靶内的总路线长度 •投影射程 (projected range) R在入射方向上的投影 •射程分布 平均投影射程R p (浓度分布的峰值) 标准偏差R p 标准偏差(Straggle),投影射程的平均偏差 ...
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平均投影射程 mean projected range
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